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光学镀膜腔体厂家原理和各部件分析

发布时间:2018-10-30

来源:上海AG6亚遊真空系统制造有限公司

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光学镀膜腔体是目前真空条件下较为常用的真空设备,一般由真空室、电气控制柜、真空机组三大部分构成,排气系统采用扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold组成.
随着光学行业的发展,真空镀膜机是目前真空条件下较为常用的真空设备,一般由真空室、电气控制柜、真空机组三大部分构成,排气系统采用扩散泵.机械泵.罗茨泵.低温冷阱和polycold组成.
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下面就详细介绍下真空镀膜机的各组成部分及工作原理.
1、真空主体
光学镀膜腔体根据产品要求,真空腔体的大小和形状也不一样,目前比较常用的有直径0.9米,1.3米,1.5米,1.8米等,真空腔体主要由不锈钢材料制作,真空腔室用连接阀来连接各抽气泵.
2、辅助抽气系统
排气系统是镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵、油扩散泵三大部分组成.排气系统采用扩散泵,罗茨泵,机械泵,低温冷阱,polycold组成.排气流程为:机械泵先将真空腔体抽到小于2x10-2Pa的低真空状态,之后扩散泵抽真空腔体的时候,机械泵配合油扩散泵组成串联,用这样的方式完成抽气动作.
机械泵也叫做前级泵,机械泵是应用较多的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空.
a,机械泵的分类:机械泵有很多种,常用的有活塞往复式、定片式和旋片式三种类型.
b.机械泵常被用来抽空气,但不能抽含氧量过高、腐蚀性或者有爆炸性的气体,但不能抽除水气.旋片泵中起主要作用的部件是定子、弹子,转子等,转子在定子里面,与定子不同心轴,转子槽内装有两片弹片,两弹片中间装有弹簧,使弹片紧贴在定子内壁.
c.机械泵是从大气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,这是设计和选用机械泵的重要依据.单级泵可以将腔室从大气抽到1x10-1Pa,双级机械泵可以将腔室从大气抽到6.5x10-2pa,或者更高.抽气速率是指旋片泵按特定转数运转时,单位时间内所排出气体的体积,
机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少达不到密封效果,泵内会漏气,油过多把吸气孔堵塞,无法吸气和排气.一般在油位在线下0.5cm即可.
以上就是真空镀膜机主要组成部分的介绍,大家如有真空腔体加工方面的需求欢迎来电咨询哦,光学镀膜腔体厂家电话:021-67299901,13917545521,我们将竭诚为您服务.
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